고성능화1 노광장비 작동 원리와 반도체 제조에서의 중요성 노광장비 작동 원리와 반도체 제조에서의 중요성 노광장비란 무엇인가? 노광장비는 반도체 제조 공정에서 필수적인 장비로, 웨이퍼 위에 회로 패턴을 새기는 역할을 합니다. 이 과정은 리소그래피(lithography)라고도 불리며, 반도체 칩의 설계도를 실제 실리콘 웨이퍼에 구현하는 핵심 단계입니다. 이 기술은 매우 정밀하며, 나노미터 단위의 세밀한 작업을 필요로 합니다. 노광장비는 주로 광원, 렌즈 시스템, 마스크, 포토레지스트와 같은 요소들로 구성되며, 각 부분은 미세한 회로 패턴을 웨이퍼에 정확히 전사하는 데 중요한 역할을 합니다. 노광장비의 작동 원리 노광장비의 작동 원리는 광학적 리소그래피 기술을 사용하여 진행됩니다. 이는 다음과 같은 단계로 구분됩니다: 1. 마스크 준비 반도체 회로의 설계도를 반영한.. 2024. 11. 10. 이전 1 다음
